榴莲视频污视频机清洗晶圆有什么高要求?
文章导读: 晶圆(Wafer)清洗一般分为湿法清洗和干法清洗,榴莲视频污视频属于干式清洗,是晶圆清洗的主要方式之一。利用榴莲视频污视频主要是去除晶圆表面肉眼看不到的表面污染物。对于晶圆这种高科技产品,其对微粒的要求极高,任何超标的微粒存在,都可能会造成晶圆不可挽回的缺陷。榴莲视频APP色版小伙伴今天和大家探讨一下有关晶圆清洗的相关知识。
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榴莲视频污视频晶圆的要求是非常高的,需要在千级以上的无尘室中进行,而且离子清洗机的腔体一定要是铝质,不能是不锈钢材质;在摆放晶圆时,其托架滑动部分要尽量采用不容易产生粉尘和被等离子腐蚀的材料。
在清洗晶圆时,第一步是先将晶圆放入榴莲视频污视频机的真空反应腔体内,然后抽取真空;在腔体内达到一定真空度后,通入反应气体,这些反应气体会被高压电离形成很多等离子体,这些等离子体与晶片表面产生化学或物理反应后,会生成可挥发性物质被榴莲视频污视频机配件真空泵抽走,留下更清洁并具亲水性的晶圆表面,完成晶圆清洗过程。
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