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    色版榴莲下载APP设备的电极板不对称可以实现等离子刻蚀吗?

    返回列表 来源:榴莲视频APP色版 浏览: 发布日期:2020-10-13 09:31【
    文章导读:实现材料和产品表面的等离子刻蚀,是色版榴莲下载APP设备可实现的其中一项作用,可以通过对电极的结构、面积、馈入方式调整,来满足具体的刻蚀要求,在色版榴莲下载APP设备的电极板不对称的情况下,该如何实现等离子刻蚀?往下看。
           实现材料和产品表面的等离子刻蚀,是色版榴莲下载APP设备可实现的其中一项作用,可以通过对电极的结构、面积、馈入方式调整,来满足具体的刻蚀要求,在色版榴莲下载APP设备的电极板不对称的情况下,该如何实现等离子刻蚀?
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           色版榴莲下载APP设备进行刻蚀处理,在半导体行业内较为多见,通入的气体一般为特殊的工艺气体,可产生具有腐蚀性的等离子体基团,从而与硅晶圆或其他相关产品未经掩膜遮挡的表面进行反应,将所需要的线路刻蚀出来,在这个过程中就需要注意控制离子能量的电极压降的定标。下图为色版榴莲下载APP设备阴极和阳极电极板面积不对称时的放电示意图。
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           其电极的压降和表面积之间的关系为VA/VB=(SB/SA)α,而指数α在假定的理想状态的范围基本为1.0至2.5之间,因此这一数值可以作为参考,但作为依据还是有所欠缺,而在圆形电容耦合高频放电过程中,指数α也可视为在上述范围之内。下图为色版榴莲下载APP设备的圆柱形容性RF放电电极板电压的示意图。
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           用以工业应用的圆柱形容性耦合射频色版榴莲下载APP设备,其反应腔体往往采用的是圆柱形的石英玻璃,通过在玻璃外包裹一层铜质电极,可以用来处理对均匀性要求不是很高的产品,比如小尺寸的晶圆。圆柱形容性耦合射频色版榴莲下载APP设备的放电状态如下图所示。
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